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                關于申報上海市2020年度“科技創新行動計№劃”集成電路科技支撐專項項目的通知

                時間:2020-05-26瀏覽:0編輯:攝影:    通訊員:設置

                各學院(部):

                為加快建設具有全球影響力的科技創新中心,提升集成電路領域科技創新能力,加快突破集成電路領域關鍵核心技術,上海市科學技卐術委員會特發布2020年度“科技創新行動計劃”集成電路科技支撐※專項項目申報指南。

                一、征集范圍

                專題一、芯片及其制造裝備、材料與零部件技術

                方向1、集成電路制造裝備、材料及零部件

                研究目標:研制具有國際競爭力的重大集成電路制造裝備◆及關鍵零部件,突破和掌握集成電路制造高端裝備系統設計、集⌒成和應用關鍵技術,持續提升零部件、材料等配套能力。

                研究內容:(1)集成電路高端裝備用關鍵零部件研發與驗證;(2)掩膜版制造用激光直寫設備及納米尺度三維多參數光學檢測技術研發。

                執行期限:2020101日到2023930日。

                經費額度:為非◥定額資助。

                申報主體要求:本市獨立法人單位。企業牽頭申報的投■入研發經費與申請資助」經費之比不低于2:1。優先鼓勵用戶企業牽頭組織申報。

                方向2、核心芯片器件、模塊及應用

                研究目標:與汽車等優勢產業和應用需求緊密結合,推動產業鏈上下游協同創新,突破芯片、模塊自主設計、制造和應用關鍵技術。

                研究內容:(11200V碳化硅MOSFET工ω藝制造關鍵技術,及芯片模塊開發與應用;(2)硅基氮〗化鎵功率集成電路工藝庫開發、電路設計及∮應用。

                執行期限:2020101日到2023930日。

                經費額度:為非定額△資助∩。

                申報主體要求:本市企業。企業投入研發經費與申請資助經費之比不低于2:1。優先支◣持工藝制造、芯片設計和系統應用企業聯合申報、協同攻關。

                專題二、集成電路共◢性技術研發

                方向1、集成電路制造關◆鍵技術

                研究目標:突破集成電路制造工藝模塊開發和整合關鍵瓶◎頸,掌握╳具有自主知識產權的工藝技術,支撐先進工藝線建設和量產能力提升。

                研究內容:(1)面向5G應用CMOSSiGe超高速射頻工藝及模型庫開發;(2)面向車規級芯片制造的集成電路制造工藝︾技術提升。

                執行期限:2020101日到2023930日。

                經費額度:為◤非定額資助。

                申報主體要求:本市企業。企業牽頭申報的投※入研發經費與申請資助經費之比不低于2:1。

                方向2、集成電路測試等平臺服務技術

                研究目標:培育和完善集◤成電路相關研發平臺能力,服務國家戰略科技★力量打造。面向未來數據存儲和高速傳輸接口芯片研發,發展新型存儲器工藝和接口檢測共性技術。

                研究內容:(1)新型存儲器工藝平臺完善及關鍵技█術研發;(2)集成電路制造超淺結退火激光關鍵技術研發及工藝研究;(3)高速串行接口芯片檢測技術研發與檢測平臺建設。

                執行期限:2020101日到2022930日。

                經費額度:為非定額〓資助。

                申報主體要求:本市獨立法人單位。企業█牽頭申報的投入研發經費與申▲請資助經費之比不低于1:1。

                專題三、集成電路前瞻技術研究

                方向、集成電路新←材料、新器件、新方法

                研究目標:面向未來計算、存儲、傳感等對集成電路新材△料、新器件、新計算架構、新方法等,實現原理突破和原型驗證。

                研究內容:(1)光子計◣算關鍵器件開發、架構研究及原型芯片實現;(2)金屬硫化物等二維原→子晶體器件與大尺寸材料制備技●術;(3)三維集成電路電磁全波仿真和參數提取技術研究;(4)三維集¤成電路功耗分析、熱分析和應力分析技術研究;(5)基于人工智能的EDA多目標優化算法研究;(6)研發新一代微波可調無源器件,突破高集成√度、寬帶可重構的微波集成電路先進材料和關鍵★工藝;(7)研發新型刺激響應智能薄膜材料和介觀尺度下結構可重構可瞬變的電子元器件,實現器件性能的集成化驗證,探索集成化智能安全芯片◥實現;(8)基于CMOS技術的集成生物光電子芯片。

                執行期限:2020101日到2022930日。

                經費額度:為♀非定額資助。

                申報主體要求:本市獨立法人單位。企業牽頭申報的投入研發經費與申請資助經費之比不低于1:1。每條研究內∮容限支持1項。

                二、申報要求

                除滿↘足前述相應條件外,還須符合以下要求:

                1.項目申報單位應當是注冊在本市的獨立法人單位,具有組織項目實施的相應能力。

                2.研究內容已經獲得財政資金》支持的,不得重復申報。

                3.所有申報單位和項目參與人應遵守科】研倫理準則,遵守人類遺傳資源管理相關法規,符合№科研誠信管理要求。項目責任人應承諾所提交材▃料真實性,申報單位應當對申請人的申請資格負責,并對申請材料的真實性和完整性進行審核,不得提交有涉密內容的項⊙目申請。

                4.申報項目若提ξ出回避專家申請的,須在提交項目可行性方案等書面材料的同時,上傳由申報單位出具公函提出回避專家名單與理由。

                5.已作為項目責任人承擔市科委科技計劃在研項目2項及以上〒者,不得ζ 作為項目責任人申報。

                6.項目經費預算編制應當真實、合理,符合市科委科技計劃項目經費管理的有關@ 要求。


                三、申報方式

                1.項目申報采用網上申報方式,無需◇送交紙質材料。申請人通過“中國上!遍T戶網站(http://www.sh.gov.cn--一網通辦--利企服務--點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”圖片鏈接◣進入申報頁面,或者直接通過〓域名http://czkj.sheic.org.cn/進入申報頁面:

                【賬戶注冊】轉入注冊頁面進行個人申報賬號注冊(注冊時我校的學校代碼為42503614-8);

                【初次填寫】使用申報賬號登錄系統,轉入申報指南頁面,點擊相應的指南「專題后,按提示完成“上?萍肌庇脩糍~號綁定,再進行項目申報;

                【繼續填寫】登錄已注冊申報賬號、密碼后繼←續該項目的填報。

                有關操作可參閱在線幫助。

                2.項目網上填報起始時間為202062

                四、評審方式

                采用通訊評審方式。

                五、咨詢電話

                服務熱線:8008205114(座機)、4008205114(手機)


                六、學校要求

                1.按通知要求,請以我校為依托▃單位的申請人于2020615日完成在線填寫并提交╲。

                2.我校老師如作為合∞作方參與其他專題的項目申報,請按照科委和牽頭申報單位的要求按時提交▲相關材料。

                3.申請項目填表時所需的學;拘畔,請登錄科技處網〒站“文檔下載——省市級項目相關文檔”下載“申報項目單位相關資料→”參考。

                 附件:上?萍脊芾硇畔⑾到y操作說明(通用表單).pdf


                  聯系人:黃華杰、王怡心

                  聯系電話:55274272

                  科技發ξ 展研究院

                2020526



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